一、概述

杜威DFC系列质量流量控制器/流量计由质量流量传感器、层流原件、质量流量控制器调节阀和放大电路组成。用以准确可靠的测量和控制气体质量流量，测量和控制精度高、零飘小，测量和控制范围宽，测量和控制的准确度不受环境温度和外界压力的影响。

二、应用场景

广泛应用于电子工艺设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入等场合，以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。

三、工作原理

流量控制器利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传导分布效应而制成，即热分布式流量计（Thermal Profile Flowmeter）。采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量，可以不受温度压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得的差值信号去驱动控制调节阀门，通过闭环，去控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器在主通道和毛细管间产生层流，控制输出的流量检测电压与流过通道的流量成比例。

工作原理图

四、产品特点

 耐压高及适用于真空条件下工作，低压降。工作压力范围宽，气体流量不因温度、压力的变化而变化。

 主体采用不锈钢（316L）结构，气密材料采用VITON®、聚四氟乙烯等。适用于各种耐腐蚀性气体。

 可任意位置安装。电气操作控制显示，使用方便。易于与电气系统或自动控制系统配合。

 具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、工作稳定可靠。

五、主要技术参数

 供电电源：24VDC

 测量范围：0～5～500ml/min，0～1～500L/min

 测量精度：±1.0%FS

 线性：±0.5%FS

 重复精度：±0.2%FS

 工作压差：0.1～0.5MPa

 工作环境温度：-10～120℃

 输出信号：4~20mA、0~10V、RS485(ModBus)

 供电：DC15V～DC24V可选，流量计<400mA，控制器<600mA

 电气连接：DB15

 底座材质：316L不锈钢

 密封材质：氟橡胶、丁晴橡胶、氯丁橡胶

 气体接头：Φ3、Φ6、Φ10、1/8〞、1/4〞、3/8〞

六、外形尺寸

外形及安装尺寸

气路接头形式

电缆连接插头  

七、功能操作

1. 不带液晶显示屏操作

    1) 开机前的准备工作

用我公司提供的电缆线将质量流量计和流量显示仪连接。

选择设定信号的来源。信号的来源可选择内部和外部，选择设定信号来源的接口设在流量显示仪的后面板上。如果将设定端子与内设相连时，从流量显示仪上获得设定信号。如果从其他设备上得到设定信号，则需要将信号源与设定相连接。

2) 开机操作

接通电源后，先预热1分钟，再通气工作，以保证测量的准确度。

如：通电时，将阀控开关置于“关闭”位置并将设定电位器调到零，待零点稳定后，将阀控开关转到“阀控”位，然后再将设定流量调到您需要的值，实际流量将跟踪设定值而改变。

3) 清洗与关闭功能

将阀控开关置为“清洗”位，阀将打开到最大，如果气路上下游存在工作压差，将会有很大的气流通过，此功能可用于吹洗管路，或用于排除MFC 内部及其管路残存的其他气体。清洗时的气流量可达该控制器额定满量程流量的几倍至几十倍。清洗后，应打阀“关闭”，然后才能进行正常“阀控”操作；不得直接转置“阀控”位，因为此操作不能保证阀控正常动作。将阀控开关置为“关闭”位，阀将关死，而没有气流通过。

4) 外部控制和与计算机D/A转换器连接

若流量设定使用外部信号，应将设定选择开关打至“外”，并从显示仪上的外控信号插座接入（0～5V）或（4～20mA） 和“0 电平”（信号地）上即可。也可直接与计算机的D/A 转换器连接，实现自动控制。注意，流量设定的输入阻抗大于10KΩ。

5) 流量检测和与计算机A/D转换器的连接

若用户检测流量输出信号（0～5V）或（4～20mA）时，将线引至外控信号插座的“流量检测”和“0电平”线上即可，也可直接与计算机的模数转换器连接，5V或20mA输出电压对应MFC 满量程额定流量值。

注意，流量检测输出电流负载能力不得大于3mA。

6) 阀控功能

当阀开关置于“阀控”位时，此时可通过“设定信号”正常控制气体质量流量。

7) 关机操作

关机断电源后，气流自动截止。

推荐先关气，后断电源。

2. 带液晶显示屏操作

流量计使用一个带背光的点阵液晶显示器，直观清晰的显示出多种有用的流量数据，包括：瞬时流量、累计流量和温度等。DMASS具有不同的显示画面，它取决于定货的型号，如流量计或控制器、电流输出或电压输出等。具有统一的主显示画面、气体选择画面（特定气体时本画面可能无效）、校准画面、设备信息等。

在主画面状态下，轻按流量计右下角的[MENU]按键可以切换显示画面到菜单画面。

3. 常用操作

界面说明

   按键在不同显示情景下的功能

   监测量显示状态

   按【左】键，顺序切换当前显示参数为：瞬时流量、电流、介质温度、累计流量

   按【右】键，倒序切换当前显示参数为：累计流量、介质温度、电流、瞬时流量

   按【MENU/OK】键，进入〖菜单显示状态〗

   菜单显示状态

   按【右】键，顺序切换本级菜单各菜单项

   按【左】键，退至上一级菜单

   按【MENU/OK】键，进入下一级菜单或者〖参数输入对话框〗

   参数输入对话框

   按【上】键，设定数字增加1

   按【下】键，设定数字减小1

   按【右】键，光标右移一位

   按【左】键，光标左移一位

   按【MENU/OK】键，确认

   存储问询对话框

   按【右】键，不存储数据或选项，回到〖存储问询对话框〗前的菜单项。

   按【左】键，存储数据或选项，回到〖存储问询对话框〗前的菜单项。

   4. 功能操作详解

   1) 流量设置

    按【VALVE】 键进入流量设定界面

    按【上】键增大流量设置，按【下】键减小流量设置，按【左】键流量设定为0，按【右】键流量设定为满量程。按【VALVE】键保存并返回监测量显示状态。

    2) 启动/停止流量累计

   在〖监测量显示状态〗下，按【MENU/OK】键，进入〖菜单显示状态〗

   按【MENU/OK】键，显示进入用流量设置子菜单

   若累计功能处于停止状态，显示如下画面

   此时按【MENU/OK】键会进入〖存储问询对话框〗 如下

   此时按【左】键修改并存储，按【右】键则退出到之前菜单

3) 流量累计值清零：

   在〖监测量显示状态〗下，按【MENU/OK】键，进入〖菜单显示状态〗

   按【MENU/OK】，进入流量设置子菜单，按【右】使菜单项“1 Reset Total”处于焦点状态

   按【MENU/OK】键，显示进入〖存储问询对话框〗；

   按【左】键修改并存储，按【右】键则退出到之前菜单。

4) 流量小信号切除

   在〖监测量显示状态〗下，按【MENU/OK】键，进入〖菜单显示状态〗

   按【MENU/OK】，进入流量设置子菜单，按【右】使菜单项“2 Flow CutOff”处于焦点状态

   按【MENU/OK】键，显示进入〖参数输入对话框〗，输入所需数据

   修改完最后一位字符，按【MENU/OK】键，进入〖菜单显示状态〗

   此时，按【左】键，存储数据，按【右】键，放弃存储，回到之前的菜单

5) 流量系数

   在〖监测量显示状态〗下，按【MENU/OK】键，进入〖菜单显示状态〗；

   按【MENU/OK】键，显示进入流量设置子菜单，按【左】键使“3 Coefficient”处于焦点状态

   按【MENU/OK】键，显示进入〖参数输入对话框〗，输入所需数据

   修改完最后一位字符后，按【MENU/OK】键，显示进入〖存储问询对话框〗

   此时，按【左】键，存储数据，按【右】键，放弃存储，回到之前的菜单

6) 流量零点设置

   在〖监测量显示状态〗下，按【MENU/OK】键，进入〖菜单显示状态〗；

   按【右】键，使菜单项“2 Zero Offset”处于焦点状态；

   按【MENU/OK】键，显示进入安装位置零点设置子菜单；使菜单项“1 Set Zero”处于焦点状态；按【MENU/OK】键，进行（5）操作，为设定流量零点操作；

   按【右】键，使菜单项“2 Clear Zero”处于焦点状态；为取消流量设定零点操作；

   按【MENU/OK】键，显示进入〖存储问询对话框〗；

   此时，按【左】键，存储零点值，按【右】键，放弃存储，回到之前的菜单。

7) 设备轮询地址设置

   在〖监测量显示状态〗下，按【MENU/OK】键，进入〖菜单显示状态〗；

   按【右】键使菜单项“6 Hart Address”处于焦点状态；

   按【MENU/OK】键，显示进入Hart地址设置子菜单，第3行显示为当前轮询地址；

   按【MENU/OK】键，显示进入〖参数输入对话框〗， 输入期望值（地址范围0～31）

   修改完最后一位字符后，按【MENU/OK】键，显示进入〖存储问询对话框〗

   此时，按【左】键，存储数据，按【右】键，放弃存储，回到之前的菜单

8) 环路输出测试

   在〖监测量显示状态〗下，按【MENU/OK】键，进入〖菜单显示状态〗

   按【右】键,使菜单项“7 Loop Test”处于焦点状态

   按【MENU/OK】键，显示进入回路测试子菜单

   注意：这时仪表输出电流被锁定为4mA

   按【右】键，滚动菜单项，可以使仪表输出电流锁定为相应值；（例如，锁定为16，如下图）

   在回路测试菜单下，按【左】键，则退出回路测试，回到之前的菜单，且仪表电流回归自动

9) 控制模式转换

   在〖监测量显示状态〗下，按【MENU/OK】键，进入〖菜单显示状态〗

   按【MENU/OK】键，显示进入流量设置子菜单，按【右】键使“4  Caculate Mode”处于焦点状态

   按【MENU/OK】键，显示进入运算方式选择子菜单

   按【右】键，滚动被选项，当选择“Analog Input”时，为外接模拟信号控制模式；当选择“Local/RS485”时，为就地按键操作控制或RS485通讯控制

   此时，按【MENU/OK】键，显示进入〖存储问询对话框〗

   按【左】键，存储数据，按【右】键，放弃存储，回到之前的菜单，如果存储，且被选择项之前的方框被圆点填充

10) 设置输出阻尼值

   在〖监测量显示状态〗下，按【MENU/OK】键，进入〖菜单显示状态〗

   按【右】键使菜单项“8 Set Damping”处于焦点状态

   按【MENU/OK】键，显示进入阻尼设置子菜单，第3行显示为当前阻尼值

   按【MENU/OK】键，显示进入〖参数输入对话框〗，输入期望值（0～254）

   修改完最后一位字符后，按【MENU/OK】键，显示进入〖存储问询对话框〗

   此时，按【左】键，存储数据，按【右】键，放弃存储，回到之前的菜单

   八、注意事项

   1. 加装过滤器

使用气体必须净化，切忌粉尘、液体和油污。必要时加装过滤器，如果流量计出口接有液体源瓶，应在流量计出口加装单向阀，防止液体回流损坏流量计。

2. 使用腐蚀性气体

流量计通道采用的材料为：SUS 316L(00Cr17Ni14Mo2),SUS 417J1（00Cr30Mo2）, 氟橡胶等耐蚀材料。在用户系统无汽水、低泄露、勤清晰、使用得当的条件下，可以用于控制一般的腐蚀性其他使用强腐蚀性气体和有机溶剂气体时，应在定货时声明。 使用特殊腐蚀性气体，所有密封材料都要作相应改变。

3. 安装位置

本控制器安装时最好保持安装面水平，但对位置并不特别敏感， 可以任意位置安装，非水平位置安装时若发现零点偏移，可以调整零点后在工作。

4. 阀口密封

质量流量控制器的电磁阀是调节阀, 不是截止阀, 不能当截止阀使用, 用户应另配截止阀。特别是用户使用腐蚀性气体，通常应该在质量流量控制器进出气口各加一个截止阀，以保证工作安全。长期工作后, 如果控制器阀口的漏气率在2%F.S以内, 是属于正常情况。如果漏气大于满量程的2%, 则应进行维修。

5. 标定与不同气体的换算

本流量质量控制器出厂通常用氮气(N2)标定。如果要求用使用气体标定，需要在订货时与销售人员特别声明。

用氮气标定的流量控制器用户使用其它气体时，可以通过转换系数表进行换算。  

九、一般异常情况判断和处理

 十、售后与服务

   1. 产品保证与保修

本公司生产的DFC系列气体质量流量计在出货两年以内，如果用户按照说明书要求使用，并且产品没有遭受物理损害、污染、改装或翻新，我们保证产品的材料、加工和性能的质量，若有问题，免费维修。

用户收到货物后，有责任检查及核对货物，并通过传真、电话或电子邮件的方式及时通知本公司销售部有关收货情况。

保修期内，产品必须由本公司或授权的服务中心修理，否则，产品的保修是无效的。

在一年保修期以内，维修免费，如果过保，在维修前将会通知用户需要更换的部件及维修费用。维修后，在90天以内对修理的部分进行保修，保修件包括易损件 (四氟或密封圈等)。

用户使用过有毒、有污染或腐蚀性气体的产品, 如果没有出示清除污染及净化处理的证明，本公司将不负责修理或保修。

2. 保修对使用的要求

气体必须洁净且没有颗粒物, 没有液体, 这就要求在DFC系列气体质量流量计的上游气路中安装<30μm的过滤器。

输入的气体压力必须符合产品的耐压标准，不能超过该产品要求的最大压力。

产品的使用气体必须与用户订货选择的密封材料相适应,用户有责任按照可用的安全规章使用每种气体。不正确的使用产品会使保修无效，由于不正确的使用所导致的损害不能归咎于本公司。

对电子线路的要求：必须小心按规定连接系统的接线, 不正确的接线会导致产品内部电路板的永久损坏。DFC系列气体质量流量计电源需要电压波动小于5mV的高抗干扰稳压电源。

气路的连接：必须仔细的安装密封管件, 保证所有的密封管件经过单独检查并且没有划痕。

禁止自行拆开DFC系列气体质量流量计。如果自行拆卸造成损坏，则本公司承诺的保修无效。

3. 服务

本公司的产品工程师将会帮助您解决关于操作、标定、机电连接、工作条件要求、气体转换等方面的问题，我们提供技术支持与维护，提供产品使用培训。

    售后服务联系方式

   地址：合肥市高新区习友路与石莲南路交口 中国声谷4号楼九层

   电话：400-161-8008

   传真：0551-65150689

   网址：www.duwei.com.cn

• 杜威DFC气体质量流量计使用说明书20200602.pdf